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其中，新竹市科学工业园区是大本营，不仅是最早的工业园区，而且技术节点最为全面，包括从450nm的成熟节点至2nm的先进节点；台南科学工业园区的技术定位为16nm及以上的成熟节点和5nm、3nm的先进节点；台中科学工业园区的技术定位为关键节点（28nm的成熟节点和7nm的先进节点）。
据多家媒体报道，台积电在2nm制程节点上取得了重大突破，将首次引入Gate-all-aroundFETs（GAAFET）晶体管技术。据媒体报道，台积电每片300mm的2nm晶圆价格可能超过3万美元，高于之前预期的2.5万美元，为4/5nm晶圆价格的两倍。据预测，台积电每片300mm的2nm晶圆价格可能突破3万美元大关，高于早先预估的2.5万美元。
在28纳米节点上，制程技术可选择先闸极（Gate-first）或后闸极（Gate-last），张忠谋选择后者，而格芯和三星选择前者。
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